JEOL 2000 FX-II transzmissziós elektronmikroszkóp (TEM) La6B/W elektronforrással, Oxford Si(Li) energia-diszperzív röntgen detektorral
A TEM-ben a katódból kilépő elektronokat gyorsítás után a kondenzor lencse fókuszálja a mintára. Az elektronnyaláb áthalad a mintán, így annak elég vékonynak (<100nm) kell lennie. A mintáról az objektív lencse készít nagyított képet, amit a vetítő lencsék nagyítanak tovább a megfigyelő ernyőre, CCD kamerára, vagy képrögzítésre alkalmas filmre. Ahol a minta kevésbé sűrű, ott több elektron halad át, így az a tartomány világosabb lesz, a sűrűbb részek pedig sötétebbek, mivel ott kevesebb elektron halad keresztül.
A mintára vonatkozó megszorítások:
A minta anyagának elkell viselnie a vákumot anélkül, hogy bármilyen gáz, vagy gőzt bocsátana ki. A mintának vékonynak kell lennie. Ha nem az, akkor vékonyítani kell. Szilárd, térfogati minta esetén hagyományos csiszolási-polírozási eljárással a minta 50-30 mikrométeres vastagságig vékonyítható (a minta anyagától függően). A további vékonyításhoz ionsugaras vékonyítót, vagy fókuszált ionnyaláb-berendezést (FIB) használnak. Amennyiben a minta nem vezető, vékony szénréteggel vonják be, hogy vezetővé tegyék.
Kapcsolat: Dr. Cserháti Csaba, Laboratóriumvezető