HITACHI S4300-CFE pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) téremissziós elektronforrással, Bruker (SDD) energia-diszperzív röntgen detektorral
A SEM-ben egy keskeny elektronszonda pásztázza a minta felületét szinkronban a kijelző képenyő elektronnyalábjával. A berendezés detektorai mérik a mintából jövő különféle jelek intenzitását és a megfigyelő képernyő megfelelő pixelének fényességét modulálják a detektált jelerősségnek megfelelően.
Fontos tudni, hogy a SEM-kép nem feltétlenül a felületét mutatja. A mintát érő nagyenergiájú elektronok ugyanis behatolnak a mintába, ahol különböző jelek keletkeznek (szekunder, visszaszórt és Auger elektronok, karakterisztikus Röntgensugárzás, még látható fény is). Adott minta esetén az elektronnyaláb energiája, valamint a detektált jel határozza meg azt, hogy milyen mélyről kapunk információt.
Energia diszperzív röntgenspektroszkópia (EDS)
A mintát érő nagyenergiájú elektronnyaláb gerjeszti minta atomjait, lyukakat hozva létre az atomok belső elektronhéján. Az atomok a legalacsonyabb energiaszintre törekednek, ezért a belső héjon lévő üres helyre egy magasabb energiaszintű pályáról elektron ugrik, az energiakülönbséget pedig az atom egy Röngenfoton formájában kisugározza. Mivel az elemek elektronszerkezete specifikus, ezért a kisugárzott foton energiája és hullámhossza is elemspecifikus. A módszerrel a kisugárzott foton energiáját mérjük meg, így beazonosíthatjuk a mintát alkotó elemeket. EDS analízissel lehetőségünk van kvantitatív elemi összetétel meghatározásra is.
A mintára vonatkozó megszorítások:
A minta anyagának elkell viselnie a vákumot anélkül, hogy bármilyen gáz, vagy gőzt bocsátana ki. Ha a minta nem vezető (műanyag, polimer, biológiai anyag) egy vékony, 20-100nm vastag vezető réteggel kell bevonni. A berendezésbe relatíve nagy minták is behelyezhetők 50x50x20(Sz/M/V,mm).
Kapcsolat: Dr. Cserháti Csaba , laboratóriumvezető